Oliveira, Peter William deSchäfer, BrunoDrumm, RobertBeermann, HerbertSerwas, DietmarJilavi, Mohammad H.Schmitt, Karl-Peter. Vorrichtung zum Beschichten von planaren Substraten. Offenlegungsschrift DE A1, offengelegt am June 25, 2015. Link: https://depatisnet.dpma.de/DepatisNet/depatisnet?action=bibdat&docid=DE102013114718A1
